蓄热催化燃烧rto设备在将废气进行催化燃烧的过程中，废气经管道由风机送入热交换器进行一次升温，再进入到加热室将废气加热到催化燃烧所需要的起始温度。经过加热的废气通过催化剂层使之燃烧。由于催化剂的作用，催化燃烧法废气燃烧的起始温度约为250-300℃，低于直接燃烧法的燃烧温度670-800℃，因此能耗远比直接燃烧法低。同时在催化剂的活性作用下，反应后的气体产生的热量，高温气体再次进入热交换器，经换热冷却，终以较低的温度经风机排入大气。
当然蓄热催化燃烧rto设备也是有局限性的，因为催化剂并不是适用于所有的废气处理，