据市场研究机构YoleDevelopment的最新统计数据，2011年世界微机电系统市场规模达到了102亿美元，比2010年增长19%，这一增长速度远超同年1.8%的世界半导体总体营收增幅和4%的世界Fabless销售额涨幅。
MEMS发展历史虽然已有数十年的时间，但近年来随着智能手机、汽车电子、医疗电子、物联网等产业的快速发展，对陀螺仪、射频(RF)MEMS元件、MEMS麦克风等MEMS元件产品的需求量将会持续攀升，推动MEMS产业进入快速发展阶段。
高价值MEMS主打医疗生物领域
医疗电子应用领域的MEMS市场正在快速增长，2011年高价值MEMS市场需求额19亿美元，需求数量约1.2亿颗。iSuppli预计今后5年高价值MEMS市场将以20%左右的年复合成长率(CAGR)增长。
医疗电子及医疗仪器等领域需求的高价值MEMS市场，会随着全球暖化与人口高龄化等因素影响，不仅近年来获得快速发展，将来还会获得更加强劲的增长。
MEMS可用于许多生物和医疗电子产品中，如心脏起搏器、精密手术仪器、医疗机器、仿生眼、智能假肢、血糖仪、数字血压计、血气分析仪、数字脉搏和心率、数字温度计、怀孕测试仪、透皮给药系统、透析系统和氧浓缩器等。许多医疗电子产品使用的技术越来越复杂，为了确保包括医护人员、病患本人以及最重要的家庭用户在内的每个人都能安全有效地使用这些产品，对这些产品的设计要求越来越高，并且其中许多要求可能存在冲突。对于设计师来说，所有这一切则意味着要在给定空间上实现更多的功能，同时尽可能地降低功率，都需要用到高性能、高可靠的MEMS传感器，从传感器机制到整机产品的系统特性，以实现将生命体的运动检测转化为对医疗保健有用的电信号。
在医疗电子应用领域，MEMS技术的目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，这样不仅可以降低机电系统的成本，而且还可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可以嵌入大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。MEMS技术开辟了一个全新医疗电子产业。
以英国为基地开展纳米技术研发的英国Innos，作为从英国贸易工业部(DTI)取得资金援助的联盟一员，将开展在医疗领域应用MEMS发电机的相关研究。该组织的研究项目是Self-EnergizingImplantableMedicalMicroSystems(SIMM)，时间为两年。将开发、试制可从人体内部及外部的运动中获取能量的元件。
Innos将采用英国Perpetuum提供的振动能量捕获式微型发电机，进行基于硅的开发及元件加工，并向英国FinsburyOrthopaedics提供样机以进行综合测试。英国InVivoTechnology已经证实了能量捕获装置的临床兼容性和临床可行性。英国OdstockMedical将在功能性电刺激(FES)市场采用此技术。该项目的主导方加拿大卓联半导体(ZarlinkSemiconductor)将提供尖端微型封装技术。
医疗电子应用领域的MEMS市场正在快速增长，2011年高价值MEMS市场需求额19亿美元，需求数量约1.2亿颗。iSuppli预计今后5年高价值MEMS市场将以20%左右的年复合成长率(CAGR)增长。Yole预测，到2016年，生物和医疗电子领域用MEMS将占全球市场总需求的24%。
