自2011以来,行业持续低迷,很多光伏企业将主要精力都放在了提升产品效率,以便使自身更具竞争力。
在提升效率过程中,之于每个工艺的控制就显得格外重要。例如,对于晶体硅电池的核心工艺的PECVD,为了既获得良好的钝化又能有更低的反射,很多厂家都推出了双层氮化硅结构;再如,如何严格监控清洗完成后自然氧化层的状态;又如,许多公司工艺部门都希望获得全波段的NK值以及精确的膜厚等等。
另外,许多著名PECVD厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑,例如,著名管式PECVD厂商Centrotherm就推出了Centaurus技术,平板式PECVD厂商Roth&Rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构,他们也无一例外地采用了多层膜结构。
全光谱椭偏仪自半导体时代以来,一直在各行业普遍运用。因为它具有各方面无可比拟的优势,几乎能为任何应用提供出色的测量精度。但晶硅电池不同于LCD、LED、半导体等其它行业,晶硅电池的衬底需要经过制绒以提高光能的吸收,但是,无论是多晶酸制绒形成的凹坑,还是单晶碱制绒形成的金字塔,其粒子线度都是在微米级别,对入射光具有米氏散射效应,一方面大大削弱了信噪比,另一方面又产生了退偏影响。这两方面的问题一直阻碍着全光谱椭偏仪在晶体硅电池的运用。系科光电科技(上海)有限公司,(简称系科仪器)在上海SNEC展会上成功展出的RISE型光谱椭偏仪,就成功地解决了太阳能电池检测这两方面的问题。
RISE(RotaingIncidenceAngleSpectroscopicEllipsometer)是系科仪器的可变入射角度型全光谱椭偏仪,具有卓越的整体设计,可在可见光及近红外波段(其余波段可选)快速采集数据,进行膜厚、折射率、消光系数等光学参量的分析。同时还能够分析并不理想的样品,如:具有米氏散射或瑞利散射的绒面衬底、具有背板反射的透明衬底、膜层厚度极其薄以及极其厚、非均匀样品等等。无论是吸收还是透明衬底,双层膜还是多层膜分析,皆可一键完成。
RISE同时还适用于多种领域的薄膜测量:晶硅太阳能电池、薄膜太阳能电池、半导体、微电子、触摸屏及LED等。